FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
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- 商品名称: FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气晶圆系列
- 负载: 2-5KG
- 臂长: 500-1000mm
FBA6432D_5轴大气水平多关节型双臂双手指晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人FBA6432_FBA系列半导体机器人- 采用闭环伺服控制
- 可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
- 可选配免电池绝对式编码器
- 可选末端执行器类型：真空吸附式、边缘夹持式
臂长
640mm
额定/最大负载
4kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆
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关键词：
FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
FBA6432D_5轴大气水平多关节型双臂双手指晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
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